Bruker布魯克 JV-DX X射線衍射儀 XRD

——X射線測量滿足您的研發需求

Jordan Valley 的 Delta-X 是用于材料研究、工藝開發和質量控制的新一代柔性 X 射線衍射儀器。 該系統具有全自動源和檢測器光學元件以及水平樣品安裝，可以在*計算機/配方控制下在標準和高分辨率 X 射線衍射和 X 射線反射率模式之間切換，而無需手動更改配置。 這可確保每次使用佳工具配置，而無需專家設置工具以供使用。

• 樣品的自動校準、測量和分析
• 測量的自動化程度由用戶定義
• 使用 300 毫米歐拉支架實現高精度樣品定位和掃描
• 全300mm 晶圓水平貼裝和映射
• 由于 100° 傾斜 (Chi) 和無限方位角旋轉 (Phi)，可以進行極點圖和殘余應力測量
• 根據請求的測量進行智能自動工具對齊和重新配置
• 行業領-先的設備控制和分析軟件
• 使用高分辨率測角儀進行準確和精確的測量
• 高強度光源和光學元件可實現快速測量
• 可用的技術和參數范圍廣泛
• 由擁有 30 多年經驗和龐大的全球安裝基礎的高分辨率 X 射線衍射領域的專家打造

自動源和檢測器階段

• 光源光學器件的開發考慮到了易用性和最佳性能。 所有系統均標配平行光束多層反射鏡，可提供適用于 XRR 和 XRD 測量的高強度光束。
• 為了啟用HRXRD，可以安裝一系列晶體光學器件，以涵蓋從8” (Ge 004) 到 >40” (Ge 111) 的分辨率。 可根據要求提供定制晶體。
• 它們會自動切換進出光束路徑，以便能夠在同一自動測量批次中覆蓋適用于不同基板類型和不同技術的光束配置。 與其他系統不同，無需手動從系統中移除鏡子或晶體，以確保它們不會損壞或錯位。

高分辨衍射儀 & X 射線反射率

高分辨率 XRD 是第一原理測量，可以確定外延層的厚度、成分、松弛、應變、摻雜劑水平和誤切

•直接測量多層結構內層的松弛/應變/組成
•在需要時將三軸分析儀晶體自動插入和對齊到光束中
•自動樣品校準、測量、分析和報告
•倒數空間圖在幾分鐘內完成并使用PeakSplit 進行分析
•可以使用模擬雙軸和三軸衍射掃描
• JV-RADS分析軟件

X 射線反射率 (XRR) 是第一原理測量，可以確定薄膜的厚度、密度和粗糙度

•第一原理，無損測量
• XRR 對材料質量不敏感，因此層可以是非晶、多晶或外延層
•金屬、氮化物、氧化物、有機物、聚合物……
•自動樣品校準、測量、分析和報告
•厚度范圍從 1nm 到 1µm，取決于吸收

分析軟件

JV-DX 系統上使用的分析軟件套件以 30 年的 X 射線表征和薄膜計量經驗為基礎。 基于在 Bede Scientific 的分析軟件套件中，JV-DX 分析包包括行業領-先的高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD)、X 射線反射率 (XRR) 和 XRD 軟件模擬軟件。

bruker布魯克 JV-DX X射線衍射儀 XRD規格